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台式检漏仪

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UL1000专用氦检漏仪

2016-10-26 点击:


产 品 说 明

UL1000氦质谱检漏仪

INFICON(德国) UL1000移动式氦检漏仪专门设计用于满足苛刻的工业检漏要求:具有耐用性强、测试灵活性好、灵敏度高、启动快,响应精确迅速,系统安可靠等特点。
UL1000符合微电子工业生产的要求。从坚固的金属外壳到方便移动的滚轮,至I·CAL, 用于消除在10-11至10-12超高灵敏漏率范围中长平衡时间的运算法则,都无不显示了其无与伦比的优越性。
系统软件包含带有故障查找指令的先进自诊断程序。并可调用防止氦气或工艺气体污染的保护性功能。UL1000的通风系统不会干扰通常清洁室中从天花板至地面的空气流动。涡轮分子泵的抽速和压缩比可降低并消除氦污染。
UL1000具有可转动的控制界面,装在仪器商的显示器用十分清楚的大型字体显示测量结果于状态信息,这样可远距离方便地观察读值。通过E-MAIL更新软件,新的固件可通过标准接口在数分钟内完成安装。
产品应用:

半导体工艺设备的维护,该设备本身带或未带有涡轮分子泵
工艺气体系统的检测与安装
元器件在组装前的漏率测试
要求高抽速、高灵敏度以及清洁测试条件的应用场合
优势所在:

◆ 具有独特的ICAL本底稳定功能,提供在10-12毫巴 / 秒范围内无比优越的测量速度和稳定性。


270度旋转的显示器,大而清楚的字体可远距离方便地观察读值。可以数显,模拟显和趋势显示三种显示方式。菜单式控制软件,易于使用


德国莱宝高性能机械泵,抽速:163/小时。可在低温环境下启动检漏仪



◆ 德国普发三级涡轮进气分子泵,抽速:>70升/秒,采用半磁悬浮轴承,即使90000转/分钟的转速也不会磨损轴承,高氦压缩比:比其他检漏仪高24倍。



◆ 两条镀钇的铱丝,当一只灯丝断了以后,能自动切换到另一只。UL1000独特的结构设计使灯丝可耐大气冲击和污染。离子源保修3年。


UL1000采用全逆扩散检漏方式,即使是在精检和超精检模式依然采用逆扩散检漏方式。有效地减少对检漏仪质谱室的污染。UL1000的质谱室终生免维护。


◆ 采用先进的毛细管式TL7校准漏孔,不受环境温度变化影响,因此不需要温度补偿。独特的测试罐校准模式不仅校准仪器,也校准检漏罐,是最精确的校准。


◆ 英福康公司在北京,上海和广州设有维修中心及备件仓库,可以提供24小时服务。工程师全部在德国总部接受过严格培训。国内的各维修中心存有备用氦检漏仪,可在紧急情况下提供给用户免费使用。 INFICON有指定维修代理,可提供日常技术支持及维修



技术参数
最小可检漏率(按AVS2.1和EN1518标准)
<5×10-12mbar.l/s
最小可检漏率(吸枪模式)
<3×10-8mbar.l/s
入口压强                       粗检模式
精检模式
超精检模式
15 mbar
2 mbar
0.4 mbar
抽泵抽速
16-25立方米/小时
氦气抽速(进气口处)    粗检模式
精检模式
超精检模式
8 升/秒
7升/秒
2.5升/秒
可检质量数
2、3、4amu, 氢,3氦,氦
电源电压
110-120V;220-240V
重量
110公斤;242磅
尺寸,包括手把(长×宽×高)
1068×525×850毫米

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